关于热解化学气相沉积简述 热解化学气相沉积


关于热解化学气相沉积简述 热解化学气相沉积

文章插图
小伙伴们,你们好,小龙今天来谈谈以上热解化学气相沉积,关于热解化学气相沉积简述问题 , 那么下面分享给大家一起了解下吧 。
1、热化学气相沉积(TCVD)是指利用高温激活化学反应进行气相生长的方法 。
2、广泛应用的TCVD技术如金属有机化学气相沉积、氯化物化学气相沉积、氢化物化学气相沉积等均属于热化学气相沉积的范围。
【关于热解化学气相沉积简述 热解化学气相沉积】文章到此就分享结束,希望对大家有所帮助 。

    推荐阅读